Оцінка чистоти та сертифікація тигля з танталу високої чистоти
Тигель із танталу високої чистоти визначається чистотою, що перевищує або дорівнює 99,99%, усуваючи сліди забруднюючих речовин, щоб відповідати суворим вимогам ультра-обробки матеріалів.
Ступені чистоти включають 99,95% (комерційний клас), 99,98% (аналітичний клас) і 99,99% (електронний/ядерний клас). Сертифікація за допомогою GDMS (мас-спектрометрія з тліючим розрядом) або ICP-MS (мас-спектрометрія з індуктивно пов’язаною плазмою) перевіряє рівні домішок: наприклад, 99,99% тиглів мають Fe менше або дорівнює 5 ppm, Ni менше або дорівнює 3 ppm, C менше або дорівнює 10 ppm. Ця відстежуваність має вирішальне значення для аерокосмічної промисловості (плавлення суперсплавів) або напівпровідників (обробка високо{12}}k діелектриків).
|
|
|
|
|
|---|---|---|---|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
99,95% танталові тиглі для електронно-променевого випарника, лабораторне використання Ta тигля
Проблеми виготовлення тигля з танталу високої чистоти
Після-виготовлення вакуумний відпал (1500 градусів, 10⁻⁵ Па) видаляє поглинені гази, ще більше підвищуючи чистоту.
Переваги продуктивності в критичних програмах
У напівпровідниковій епітаксії тиглі на 99,99% запобігають забрудненню допантом (наприклад, Fe змінює електричні властивості кремнію). Для ядерного палива вони містять розплави оксиду урану без домішок, що поглинають нейтрони (наприклад, B, Cd). Їх низький рівень дегазації (<10⁻⁹ Torr·L/s·cm²) also suits ultra-high-vacuum (UHV) systems, unlike lower-purity crucibles that release volatiles.
