Цілі цирконіюЗверніться до цирконієвих матеріалів, що використовуються в процесах покриття для розпилення, зокрема матеріалів, виготовлених за допомогою конкретного процесу підготовки, і використовуються для розпилювального осадження тонкої плівки цирконію. В основному він виготовлений з чистого цирконію (ZR) або сплавів цирконію (наприклад, сплав цирконію-хафнію ZR-HF, сплав цирконію-ніобій ZR-NB тощо), з дископодібною або листоподібною структурою, і в основному використовується в процесі осідання в електроніці. Ці цілі осаджуються на підкладці шляхом розпилення технології при високій температурі, утворюючи необхідний тонкий плівковий матеріал.
Деталі зображення цільового продукту цирконію











