Яких запобіжних заходів слід вжити під час встановлення мішені, як пояснює ZhenAn?

Oct 13, 2025

Залишити повідомлення

ZhenAn 4N Tantalum Ta Pure Metal Target Big Size Tantalum Sputtering Target Materials

Яких запобіжних заходів слід вжити під час встановлення мішені, як пояснює ZhenAn?

 

Найважливішим запобіжним заходом під час встановлення мішені є забезпечення хорошого теплового зв’язку між мішенню та охолоджувальною штангою розпилювача.

 

Сильне викривлення охолоджуючої планки або опорної пластини може призвести до тріщини або згинання мішені під час встановлення. Це може суттєво вплинути на теплопровідність від опорної пластини до мішені, запобігаючи розсіюванню тепла під час напилення та, зрештою, спричиняючи тріщину мішені або її вихід з рейок.

універсальне-рішення

професійна команда

висока якість

 

Щоб забезпечити достатню теплопровідність, шар графітового паперу можна помістити між пластиною охолодження катода та мішенню. Уважно огляньте та переконайтеся, що охолоджувальна штанга розпилювача рівномірна, і переконайтеся, що ущільнювальне кільце завжди на місці.

 

Через чистоту охолоджувальної води, що використовується, і бруд, який може утворюватися під час роботи обладнання, який буде осідати в резервуарі води для охолодження катода, резервуар води для охолодження катода необхідно перевірити та очистити під час встановлення цільового матеріалу, щоб забезпечити безперебійну циркуляцію охолоджувальної води та щоб впускний і вихідний отвір не були заблоковані.

 

Деякі конструкції катода мають невеликий зазор з анодом, тому при установці матеріалу мішені необхідно стежити, щоб між катодом і анодом не було контакту і провідника, інакше відбудеться коротке замикання.

 

Відвідайтеhttps://www.zhenanmetal.comщоб дізнатися більше про продукт. Якщо ви хочете дізнатися більше про ціну продукту або зацікавлені в придбанні, надішліть електронний лист на адресу info@zaferroalloy.com. Ми зв’яжемося з вами, щойно побачимо ваше повідомлення.

Отримайте пропозицію сьогодні