ZhenAn Коротко опишіть фактори, які впливають на швидкість осадження цільового покриття?

ZhenAn коротко опишіть фактори, які впливають на швидкість осадження цільового покриття?

Магнетронне розпилення — це метод фізичного осадження з парової фази, за допомогою якого можна осадити різноманітні матеріали, включаючи метали, сплави та кераміку, використовуючи спеціально сформоване магнітне поле, прикладене до діодної мішені розпилення. Швидкість осадження або швидкість утворення плівки є ключовим параметром для вимірювання ефективності машини для магнетронного розпилення. Багато факторів впливають на швидкість осадження, включаючи тип робочого газу, тиск робочого газу, температуру мішені для розпилення та напруженість магнітного поля. На швидкість осадження покриттів мішеней магнетронним розпиленням впливають три ключові фактори: напруга розпилення, струм і потужність.

Напруга розпилення
Вплив напруги розпилення на швидкість утворення плівки відбувається за законом: чим вища напруга, тим швидша швидкість розпилення, і цей вплив є поступовим і поступовим у діапазоні енергії, необхідному для осадження розпиленням. Серед факторів, що впливають на коефіцієнт розпилення, найбільш важливими є мішень розпилення та струм розпилення. Після газу напруга розряду дійсно важлива. Взагалі кажучи, під час звичайного магнетронного розпилення, чим вища напруга розряду, тим більший коефіцієнт розпилення, тобто падаючі іони мають вищу енергію. У результаті атоми з твердої мішені легше розпилюються та осідають на підкладці, утворюючи тонку плівку.

Струм розпилення
Струм розпилення магнетронної мішені пропорційний іонному струму на поверхні мішені і тому є ключовим фактором, що впливає на швидкість розпилення. Загальне правило магнетронного розпилення полягає в тому, що швидкість осадження є найвищою за оптимального тиску газу (який змінюється залежно від матеріалу мішені та проекту напилення). Таким чином, без шкоди для якості плівки та задоволення вимог замовника оптимальний тиск газу є відповідним на основі продуктивності розпилення. Існує два способи зміни струму розпилення: зміною робочої напруги або робочого тиску газу.

Потужність розпилення Вплив потужності розпилення на швидкість осадження подібний до впливу напруги розпилення. Загалом, збільшення потужності розпилення магнетронної мішені може збільшити швидкість утворення плівки. Однак це не універсальне правило. Коли напруга розпилення магнетронної мішені низька (наприклад, близько 200 вольт) і струм розпилення великий, хоча середня потужність розпилення не низька, іони не можуть розпилюватися та осідати. Необхідною умовою є те, що напруга розпилення, прикладена до мішені магнетрона, є достатньо високою, щоб енергія іонів робочого газу в електричному полі між катодом і анодом була достатньо більшою, ніж «поріг енергії розпилення» мішені.