ZhenAn, які основні методи зазвичай використовуються для тестування зерна цільового матеріалу?

ZhenAn, які основні методи зазвичай використовуються для тестування зерна цільового матеріалу?

Матеріали мішеней зазвичай полікристалічні з розміром зерен від мікронів до міліметрів. Чим дрібніші зерна, тим більша площа меж зерен і тим сильніший вплив на продуктивність. Для того самого матеріалу мішені мішені з дрібним зерном мають більшу швидкість розпилення, ніж мішені з грубим зерном. Мішені з меншими варіаціями розміру зерна (рівномірний розподіл) створюють більш рівномірний розподіл товщини в напилених плівках. Дослідження показали, що якщо розмір зерна титанової мішені контролюється нижче 100 мкм, а варіація розміру зерна підтримується в межах 20%, якість одержуваної напиленої плівки може бути покращена. Значне покращення.

Три основні методи визначення цільового розміру зерна
1. Метод порівняння: метод порівняння не вимагає підрахунку зерен або відрізків. При порівнянні зі стандартною серією рейтингових діаграм оцінка розміру зерна за допомогою методу порівняння зазвичай демонструє певний ступінь відхилення (±0,5 рівня). Відтворюваність і відтворюваність оцінених значень зазвичай становлять ±1 рівень.

2. Метод площі: метод площі підраховує кількість зерен на відомій площі та використовує кількість зерен на одиницю площі для визначення ступеня розміру зерна. Точність цього методу є функцією розрахованого розміру зерна, і за належного підрахунку можна досягти точності ±0,25 рівня. Результати методу площ є незміщеними, з відтворюваністю менше ніж ±0,5 рівня. Ключ до визначення розміру зерен за допомогою методу площі полягає в підрахунку зерен, які чітко розмежовують межі зерен.

3. Метод перетину: кількість перехоплень обчислюється шляхом підрахунку кількості перетинів, де тестовий сегмент лінії (або сітка) відомої довжини перетинає межі зерен. Ступінь зернистості визначається за кількістю перехоплень на одиницю довжини. Точність методу перехоплення є функцією кількості перехоплень або розрахованих перехоплень і може бути досягнута шляхом ефективного статистичного аналізу. Точність рівня ±0,25. Результати вимірювання методом перехоплення є-незміщеними, а відтворюваність і відтворюваність є меншими за рівень ±0,5. Для того самого рівня точності метод перехоплення не вимагає точного позначення точок перехоплення або номерів перехоплення, тому він швидший, ніж метод площі.